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藍寶石是一種高硬度、高強度、高熔點的陶瓷材料，其主要成分是氧化鋁（Al2O3）。藍寶石陶瓷基板的制備方法是在高溫高壓下燒結制成。藍寶石陶瓷基板的晶體結構具有六方晶系，其晶體密度為3.98 g/cm3，熔點為2040℃。
藍寶石陶瓷基板具有優異的物理性質和化學穩定性，能夠在高溫和惡劣環境下工作，同時也具有良好的機械和熱特性。其高硬度和抗腐蝕性使其成為MEMS器件中的理想基板材料。
例如，藍寶石陶瓷基板具有以下性能特點：
高硬度：藍寶石陶瓷基板的硬度可達到9.0 Mohs，比玻璃和石英基板更高，因此具有更好的抗刮擦性和抗磨損性。
抗腐蝕性：藍寶石陶瓷基板具有極高的化學穩定性，不會受到酸堿等化學物質的腐蝕。
高熔點：藍寶石陶瓷基板的熔點高達2040℃，可以承受高溫環境下的應力和熱循環。
低熱膨脹系數：藍寶石陶瓷基板的熱膨脹系數非常小，因此能夠實現更高的精度和穩定性。
藍寶石陶瓷基板在MEMS器件制造領域有著廣泛的應用，如加速度計、壓力傳感器、微型電機等，其高品質和卓越的性能使其在微機電系統（MEMS）的制造中成為了首選材料。
例如，在加速度計的應用中，藍寶石陶瓷基板作為慣性質量塊的載體，能夠承受高速振動和慣性力，同時具有更好的精度和穩定性。在壓力傳感器的應用中，在藍寶石陶瓷基板上制造微結構和薄膜，能夠實現更高的靈敏度和精度。


關鍵字標籤：精密陶瓷材料加工